mf4001廣東(dōng)微小口徑氣體(tǐ)質量流量計

簡要描(miao)述：

mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量流(liú)量計是專門爲(wèi)各類小流量🌈氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而設計(jì)的。這一系列傳(chuan)感✏️器均采用本(běn)公司自主研發(fā)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來✌️制作，适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易(yì)安🈚裝、不需要♋溫(wen)度壓力補償，可(ke)替代容🐇積式或(huò)壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

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詳細介紹

mf4001廣(guǎng)東微小口徑氣(qi)體質量流量計(jì) 産品特點(diǎn)：
- 傳感器靈(ling)敏度高 , 有(you)極小的始動流(liú)量
- 傳感器(qi)芯片采用熱質(zhì)量流量計量 , 無需溫度壓(yā)力補償 , 保(bao)證了傳
- 感(gan)器的高精度計(jì)量
- 在單個(ge)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng) , 使傳感器(qi)的量程比大大(dà)提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩定(dìng)度高
- 全量(liang)程高穩定性
- 全量程高精(jīng)确度和優良的(de)重複性
- 低(di)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shi)間快

mf4001廣東微小(xiao)口徑氣體質量(liàng)流量計 機(ji)械尺寸：

主要參數：

性(xìng)能參數	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械(xie)接口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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