FS4001系列測量(liang)氣體流量傳感(gan)器

産品時間：2025-12-01

FS4001系列測(ce)量氣體流量傳(chuán)感器是專門爲(wèi)各類小流量氣(qì)體的測💔量和過(guo)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(ben)公司自主研發(fa)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(ti)。

詳細介紹(shào)

簡介：

FS4001系列測量(liang)氣體流量傳感(gan)器 是專門(men)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(he)過程控制而設(she)計的。這一系列(liè)傳感器均采用(yong)本公司自主研(yán)發的微機電系(xì)統（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片來制作(zuò)。

FS4001系列測量氣體(ti)流量傳感器 适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(ke)用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓(ya)力補償，可替代(dài)容🈲積式或壓🏃‍♀️差(cha)式的傳統流量(liàng)傳感器。

産品特點：
- 傳感器靈敏(mǐn)度高 , 有極(jí)小的始動流量(liàng)
- 傳感器芯(xin)片采用熱質量(liang)流量計量 , 無需溫度壓力(li)補償 , 保證(zhèng)了傳
- 感器(qì)的高精度計量(liàng)
- 在單個芯(xīn)片上實現了多(duō)傳感器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大提(tí)高
- 傳感器(qì)的零點穩定度(dù)高
- 全量程(chéng)高穩定性
- 全量程高精确(què)度和優良的重(zhong)複性
- 低功(gōng)耗
- 低壓損(sǔn)
- 響應時間(jian)快
主要參(can)數：

性能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數
零點(dian)輸出飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無凝露(lu)）
機械接口	可拆(chai)式軟管接頭
校(xiào)準方式	空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa
重量(liàng)	15		g

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