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産(chan)品時間:2025-12-01
FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liu)量傳感器适(shì)用于各類清(qing)潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之(zhi)可用于各類(lèi)管徑,成本低(dī)、易安裝、不需(xū)要🧡溫度壓力(lì)補償🏃🏻♂️,可替代(dai)容積式或壓(yā)差式的傳統(tong)流量傳感器(qi)。
産品簡(jian)介:
FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量(liang)傳感器 是專門爲各(gè)類小流量氣(qi)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計👅的。這一(yī)系列傳感器(qì)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)⭕的微機電系(xi)統💁( MEMS )流量(liàng)傳感芯片來(lai)制作。
FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liú)量傳感器 适用于各(gè)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yu)各類管徑✨,成(cheng)本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度(du)壓力補償,可(ke)替🛀代容積式(shì)或壓差式⛹🏻♀️的(de)傳🌈統流量傳(chuan)感器。
産品特點(dian):
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傳感器(qì)靈敏度高
,
有極小的(de)始動流量
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傳感器芯(xīn)片采用熱質(zhì)量流量計量(liàng)
,
無需溫(wēn)度壓力補償(chang)
,
保證了(le)傳
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感器(qi)的高精度計(ji)量
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在單(dan)個芯片上實(shi)現了多傳感(gǎn)器集成
,
使傳感器的(de)量程比大大(da)提高
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傳(chuan)感器的零點(dian)穩定度高
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全量程高(gāo)穩定性
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全量程高精(jing)确度和優良(liáng)的重複性
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低功耗
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低壓損
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響應時間(jian)快
機械(xie)尺寸:
主要參數(shu):
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性能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精(jing) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀(dú)數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄(piao)移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式 |
線性(xing),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大(dà)流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH(無結冰、無(wú)凝露) |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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|
重(zhong)量 |
15 |
g |
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