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FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liu)量傳感器

産品簡(jian)介:

FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量(liang)傳感器 是專門爲各(gè)類小流量氣(qi)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計👅的。這一(yī)系列傳感器(qì)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)⭕的微機電系(xi)統💁( MEMS )流量(liàng)傳感芯片來(lai)制作。

FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liú)量傳感器 适用于各(gè)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yu)各類管徑✨,成(cheng)本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度(du)壓力補償,可(ke)替🛀代容積式(shì)或壓差式⛹🏻‍♀️的(de)傳🌈統流量傳(chuan)感器。


産品特點(dian):
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有極小的(de)始動流量
  - 傳感器芯(xīn)片采用熱質(zhì)量流量計量(liàng) , 無需溫(wēn)度壓力補償(chang) , 保證了(le)傳
  - 感器(qi)的高精度計(ji)量
  - 在單(dan)個芯片上實(shi)現了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大(da)提高
  - 傳(chuan)感器的零點(dian)穩定度高
  - 全量程高(gāo)穩定性
  - 全量程高精(jing)确度和優良(liáng)的重複性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間(jian)快

機械(xie)尺寸:


主要參數(shu):

性能參數

FS4001

通 徑

1.0

mm

大流(liu)量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比

>100:1

 

精(jing) 度

±(1.5+0.2FS)

%

重複性

%讀(dú)數

零點輸出(chū)飄移

±30

mV

響應時間(jiān)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

線性(xing),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

 

大(dà)流量壓損

350

300

pa

大(da)工作壓力

0.5

MPa

工(gong)作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕(shi)度

 

機械接(jiē)口

可拆式軟(ruan)管接頭

 

校準(zhǔn)方式

空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhong)量

15

g

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