FS4001系列(lie)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器

産品(pǐn)時間：2025-12-01

簡要描述：

FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小流(liú)量氣體的測量和(hé)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gan)器均采用本公司(si)自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作，适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封🐪裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力⭐補(bu)償，可替代容積式(shì)或壓🙇🏻差式的傳統(tǒng)🤟流量傳感器。

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詳(xiáng)細介紹

産品簡介(jiè)：

FS4001系列小流量氣體(ti)質量流量傳感器(qi) 是專門爲各類小(xiao)流量氣體的測量(liang)和過程控制而設(she)計的⛱️。這一✨系列傳(chuan)感器均采用本公(gōng)司自主研發的微(wēi)機電⚽系統（MEMS）流量傳(chuán)感🛀芯片來制作，适(shi)用于各類清潔氣(qi)體。*的封裝技術⭕使(shǐ)之可用于各💞類管(guan)徑，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓力(lì)補償，可替代容積(ji)式或壓差式的傳(chuán)統流量傳感器。

産(chan)品特點：

FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器 靈敏(mǐn)度高,有小的始動(dong)流量傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)♋計量,無需溫度壓(ya)力補償,保證了傳(chuan)感器的高精🆚度計(jì)🥰量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qi)集成,使傳感器的(de)量程比大大提高(gāo)傳感器的零點穩(wen)定度高全量🈚程高(gao)穩定性全量程高(gao)精确度㊙️和優良的(de)重複性低功耗低(di)壓損響應時間快(kuai)
主要參數：

性能參(cān)數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(diàn)源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wēn)度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機械接(jie)口	可拆式軟管接(jiē)頭
校準方式	空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量(liàng)	15		g

機械尺寸：

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