産(chan)品時間：2025-12-01
氣體檢(jian)測/測漏流量(liàng)計傳感器靈(líng)敏度高,有極(jí)小的始動流(liú)量
- 傳感器芯(xin)片采用熱質(zhi)量流量計量(liang),無需溫度壓(ya)力補償,保🌈證(zheng)了傳
- 感器的(de)高精度計量(liang)
- 在單個芯片(pian)上實現了多(duo)傳感器集成(cheng),使傳感器的(de)量程比大大(da)提高
- 傳感器(qi)的零點穩定(ding)度高 全量程(chéng)高穩定性
産品簡介：
FS4001系(xì)列小流量氣(qì)體質量流量(liang)傳感器是專(zhuān)門爲各類🐆小(xiao)流量氣體🈲的(de)測量和過程(chéng)控制而設計(ji)的。這一系列(liè)傳💞感器🚶均采(cǎi)用本公司自(zi)主研發的微(wēi)機電系統（MEMS）流(liu)量傳🏃♀️感芯片(piàn)來制作，适用(yong)于💜各類清潔(jié)氣體。*的封裝(zhuang)技術使之可(kě)用于各類管(guǎn)徑，成本低、易(yì)安裝、不需要(yào)溫度壓力補(bǔ)償，可替代容(rong)積式或壓差(chà)式的傳統流(liú)量傳感器。
氣(qi)體檢測/測漏(lòu)流量計産品(pin)特點：
- 傳感器(qi)靈敏度高,有(yǒu)極小的始動(dòng)流量
- 傳感器(qi)芯片采用熱(rè)質量流量計(jì)量,無需溫度(du)壓力補償,保(bǎo)證了傳
- 感器(qì)的高精度計(jì)量
- 在單個芯(xīn)片上實現了(le)多傳感器集(ji)成,使傳感器(qi)的🔴量程🌐比大(da)大🧑🏾🤝🧑🏼提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩(wen)定度高
- 全量(liàng)程高穩定性(xìng)
- 全量程高精(jīng)确度和優良(liáng)的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損(sun)
- 響應時間快(kuài)
主要參數：
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
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通 徑 |
1.0 |
mm |
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zui大流量(liang) |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工(gōng)作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流(liu)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gong)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰、無凝(ning)露） |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟管(guan)接頭 |
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校準方(fang)式 |
空氣（或其(qi)他氣體），20oC，101.325kPa |
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|
15 |
g |
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