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微(wei)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(ti)流量計

産(chǎn)品時間：2025-12-01

微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是(shi)廣州迪川(chuan)儀器儀表(biao)有限公司(si)專門爲各(gè)類小流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(chéng)控制而設(shè)計的。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yong)本公司自(zì)主研發的(de)微💛機電系(xi)統（MEMS）流量💜傳(chuan)感芯片來(lái)制作，适用(yòng)于各類🈲清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類♌管(guǎn)徑，成本低(di)♉、易安裝、不(bú)需要溫度(du)壓力補償(chang)，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuan)統流量傳(chuan)感器。

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微小(xiao)氣體流量(liàng)計,MF4001氣體流(liú)量計

産品簡介(jie)：
FS4001系列(lie)小流量氣(qi)體質量流(liu)量傳感器(qì)是廣州迪(di)川儀器儀(yí)表有限公(gōng)司專門爲(wèi)各類小流(liu)量氣體的(de)測量💰和過(guo)程控制而(ér)設計的。這(zhe)一系列傳(chuan)感器均采(cǎi)用本公司(sī)自主研發(fa)的微機電(diàn)系統（ MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作，适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shi)之可用于(yú)各類管徑(jìng)，成本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫🌍度壓(yā)力補償，可(kě)💃替代容積(jī)式或壓差(cha)式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器。
産(chan)品特點：微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳感器(qì)靈敏度高(gāo) ,有極(jí)小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯(xīn)片采用熱(rè)質量流量(liàng)計量 ,無需溫度(dù)壓力補償(cháng) ,保證(zheng)了傳
- 感器的高(gāo)精度計量(liàng)
- 在單(dān)個芯片上(shang)實現了多(duō)傳感器集(jí)成 ,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
- 傳感器(qì)的零點穩(wen)定度高
- 全量程(chéng)高穩定性(xing)
- 全量(liang)程高精确(que)度和優良(liang)的重複性(xing)
- 低功(gōng)耗
- 低(dī)壓損
- 響應時間(jiān)快
主(zhǔ)要參數：

性能參(cān)數	FS4001		單(dan)位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	2132132132131231312100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性(xìng)， RS232/模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓(ya)損	350	300	pa
zui大(dà)工作壓力(li)	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械接口(kǒu)	可拆(chāi)式軟管接(jie)頭
校(xiao)準方式	空氣（或(huo)其他氣體(ti)）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g