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微(wei)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(ti)流量計

産(chǎn)品時間:2025-12-01

簡(jiǎn)要描述:

微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是(shi)廣州迪川(chuan)儀器儀表(biao)有限公司(si)專門爲各(gè)類小流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(chéng)控制而設(shè)計的。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yong)本公司自(zì)主研發的(de)微💛機電系(xi)統(MEMS)流量💜傳(chuan)感芯片來(lái)制作,适用(yòng)于各類🈲清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類♌管(guǎn)徑,成本低(di)♉、易安裝、不(bú)需要溫度(du)壓力補償(chang),可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuan)統流量傳(chuan)感器。

微小(xiao)氣體流量(liàng)計,MF4001氣體流(liú)量計

産品簡介(jie):
FS4001系列(lie)小流量氣(qi)體質量流(liu)量傳感器(qì)是廣州迪(di)川儀器儀(yí)表有限公(gōng)司專門爲(wèi)各類小流(liu)量氣體的(de)測量💰和過(guo)程控制而(ér)設計的。這(zhe)一系列傳(chuan)感器均采(cǎi)用本公司(sī)自主研發(fa)的微機電(diàn)系統( MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作,适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shi)之可用于(yú)各類管徑(jìng),成本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫🌍度壓(yā)力補償,可(kě)💃替代容積(jī)式或壓差(cha)式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器。
産(chan)品特點:  微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
  - 傳感器(qì)靈敏度高(gāo) ,有極(jí)小的始動(dòng)流量
  - 傳感器芯(xīn)片采用熱(rè)質量流量(liàng)計量 ,無需溫度(dù)壓力補償(cháng) ,保證(zheng)了傳
  - 感器的高(gāo)精度計量(liàng)
  - 在單(dān)個芯片上(shang)實現了多(duō)傳感器集(jí)成 ,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
  - 傳感器(qì)的零點穩(wen)定度高
  - 全量程(chéng)高穩定性(xing)
  - 全量(liang)程高精确(que)度和優良(liang)的重複性(xing)
  - 低功(gōng)耗
  - 低(dī)壓損
  - 響應時間(jiān)快
主(zhǔ)要參數:

性能參(cān)數

FS4001

單(dan)位

通(tōng)  

1.0

1.8

mm

zui大流量(liang)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程(cheng)比

2132132132131231312100:1

 

±(1.5+0.2FS)

%

重複性(xìng)

0.25

%讀數(shù)

零點(diǎn)輸出飄移(yi)

±30

mV

輸出(chū)飄移

%/oC

響應時間(jiān)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuò)電源

8~18Vdc,50mA

 

輸出方式(shi)

線性(xìng), RS232/模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc

 

350

300

pa

zui大(dà)工作壓力(li)

0.5

MPa

工作(zuo)溫度

-10 ~ +55

oC

-20 ~ +65

工作(zuo)濕度

<95%RH(無結冰、無(wu)凝露)

 

可拆(chāi)式軟管接(jie)頭

 

重量

g

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